钼导流筒被引进单晶炉,是一次重要的改善。使用钼导流筒后,单晶炉炉体上部氩气变得顺畅,氩气流动加快,氧化硅在单晶炉上的沉积大大减少。因为钼导流筒温度保护,减少了加热时间,使结晶时间缩短近35%,晶体位错的发生率也减少。所以钼导流筒的应用降低了能耗,提高了生产效率。
钼导流筒的形状是上开口大,下开口呈小喇叭形,上开口因单晶炉生产厂家不同而有多种款式,其规格有16寸、18寸、22寸等。钼导流筒的生产加工,一般采用0.8-2.0mm高温钼板,按图纸尺寸整片切割成扇形,加热卷成喇叭形状,铆接或焊接,最后校正。为了节省成本,也有用钼片拼接加工生产钼导流筒,铆接处比较多,影响使用寿命。成品钼导流筒,成品表面光洁,上下口径同心一致,尺寸精确,与石墨导流筒能紧密切合,成品单重3-10公斤。
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